台达东元电机专用伺服减速机由一个内齿环紧密结合於齿箱壳体上，环齿中心有一个自外部动力所驱动之太阳齿轮，介於两者之间有一组由三颗齿轮等分组合於托盘上之行星齿轮组，该组行星齿轮依靠著出力轴、内齿环及太阳齿支撑浮游於期间,用于传递动力与运动的减速机机构中，行星减速机属精密型减速机，减速比可准确到0.1转-0.5转/分钟。
因为结构原因,单级减速最小为3,较大一般不超过10,常见减速比
台达东元电机专用伺服减速机为:3.4.5.7.10,15,20,25,30,35,40,50,70,80,100减速机级数一般不超过3级减速,但有部分大减速比定制减速机有4级减速.
行星减速机额定输入转速较高可达到18000rpm(与减速机本身大小有关,减速机越大,额定输入转速越小)以上,工业级伺服行星减速机输出扭矩一般不超过2000Nm,特 制超大扭矩伺服行星减速机可做到10000Nm以上.工作温度一般在-25℃到100℃左右,通过改变润滑脂可改变其工作温度.
段/级数
行星齿轮的套数。由于一套行星齿轮无法满足较大的传动比，有时需要二套或三套来满足用户对较大传动比的要求，也就是说，减速比越大，段/级数越多，效率越低。
平均寿命
指减速机在额定负载下，额定输入转数时减速机的连续工作时间。
定位精度
台达东元电机专用伺服减速机在高速机械往复运动中做到准确定位的关键在于尽量减少通过运动产生的角偏差。定位精度取决于两个值，一个是于加载有关的偏转角，涉及到回程间隙和扭转刚度；另一个是于运动控制有关的偏转角，涉及到同步偏差问题。
回程间隙齿隙
将输出端固定，输入端顺时针和逆时针方向旋转，使输入端产生额定扭矩+-2%扭矩时，减速机输入端有一个微小的角位移，此角位移就是回程间隙.单位是"分",就是一度的六十分之一.也有人称之为背隙。
台达东元电机专用伺服减速机具有高刚性、高精度（单级可做到1分以内）、高传动效率(单级在97%-98%)、高的扭矩/体积比、终身免维护等特点。多数是安装在步进电机和伺服电机上，用来降低转速，提升扭矩，匹配惯量。